Évaporateur organique et métal – Lesker Spectros 102

Organic and Metal Evaporator – Lesker Spectros 102

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L’évaporateur Lesker Spectros 102, installé dans une boîte à gants, est conçu pour l’évaporation de matériaux organiques et de métaux par sources thermiques basse température et canon à électrons respectivement.

Caractéristiques techniques

Épaisseur de dépôt : de 1 nm à plusieurs centaines de nanomètres
Tailles de substrats : 100 × 100 mm² ou 15 × 15 mm² (adaptables selon projet)
Uniformité de dépôt : < ±5 %
8 sources organiques avec possibilité de co‑évaporation
4 sources à faisceau d’électrons
Chauffage du substrat jusqu’à 350 °C
Possibilité de changer le shadow mask en cours de procédé

The Lesker Spectros 102 evaporator, installed in a glovebox, is designed for organic and metal evaporation using à low-thermal effusion cells and electron‑beam sources respectively.

Key Features

Deposition thickness: from 1 nm to several hundred nanometers
Substrate sizes: 100 × 100 mm² or 15 × 15 mm² (adaptable for specific projects)
Deposition uniformity: < ±5%
8 organic sources with co‑evaporation capability
4 electron‑beam sources
Substrate heating up to 350 °C
Shadow mask can be changed during the process