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Évaporateur métaux/oxydes – Kurt J. Lesker Mini Spectros

Metal/Oxide Evaporator - Kurt J. Lesker Mini Spectros

L’évaporateur sous vide Kurt J. Lesker Mini Spectros, installé dans une boîte à gants Vigor, est dédié au dépôt de couches minces de matériaux métalliques (Cr, Ti, Al, Au, Ag, Pt, Ca…) et d’oxydes (MoO3, WO3, SiOx).

Caractéristiques techniques

  • Épaisseur de dépôt : 1 – 100 nm (en standard)
  • Taille de substrat : 15 × 15 et 100 × 100 mm² (en standard)
  • Non-uniformité en épaisseur : < ±5 %
  • Rotation du substrat : jusqu’à 20 RPM
  • Pression de base : < 5 x 10-7 Torr
  • Écran anti-contamination croisé : oui (pour chaque source)
  • Supervision : logiciel eKlipse
  • Co‑dépôt : oui (2 sources thermiques à effet Joule)
  • Chauffage du substrat : jusqu’à 150 °C (lampes infrarouge)

The Kurt J. Lesker Mini Spectros vacuum evaporator, installed in a Vigor glove box, is designed for the deposition of metallic (Cr, Ti, Al, Au, Ag, Pt, Ca, etc.) and oxide (MoO3, WO3, SiOx) thin films.

It includes two thermal sources (Joule effect) and one electron beam source fitted with four crucibles. Various W, alumina and Fabmat® boats/crucibles are available for better compatibility with the quantities and materials to be deposited.

Key Features

  • Deposition thickness: 1–100 nm (standard)
  • Substrate size: 15 × 15 and 100 × 100 mm² (standard)
  • Thickness non-uniformity: < ±5%
  • Substrate rotation: up to 20 RPM
  • Base pressure: < 5 x 10-7 Torr
  • Cross-contamination shields: yes (for each source)
  • Supervision: eKlipse software
  • Co-deposition: yes (2 Joule thermal sources)
  • Substrate heating: up to 150°C (infrared lamps)

Kurt J. Lesker Mini Spectros

Configuration hybride des sources de dépôt

Le système Kurt J. Lesker Mini Spectros intègre une solution de dépôt polyvalente combinant deux technologies complémentaires :

  • Évaporation thermique : 2 sources à effet Joule pour les matériaux à bas point de fusion.
  • Canon à électrons (e-beam) : Équipé de 4 creusets pour les matériaux réfractaires ou nécessitant une grande pureté.

Pour garantir une compatibilité chimique optimale avec chaque matériau, une large gamme de contenants est disponible : nacelles en Tungstène (W), bateaux en Alumine, ou creusets Fabmat®.

Atmosphère inerte et gestion de la pureté

Le couplage avec une boîte à gants Vigor permet de maintenir une atmosphère d’azote ultra-pure. Les taux d’oxygène (O₂) et de vapeur d’eau (H₂O) y sont régulés à des niveaux critiques inférieurs à 0,1 ppm.

Cette configuration est indispensable pour la préparation in situ de dispositifs sensibles tels que les OLED, l’OPV ou les nouvelles générations de batteries, permettant un transfert direct vers la chambre d’évaporation sans aucune exposition aux contaminants atmosphériques.

Conditionnement et gestion des échantillons sensibles :

  • Ensachage sous azote
  • Transport hermétique
  • Préparation ultra-pure
  • Zéro remise à l’air