Nos installations proposent sept hottes à flux laminaire, spécifiquement équipées pour divers procédés de traitement chimique par voie humide, incluant le dépôt, le développement, la gravure humide et le lift-off. Chaque hotte est dotée de filtres U15 intégrés et d’un système de flux laminaire automatisé pour assurer des conditions de travail ultra-propres.
Deux de ces hottes à flux laminaire sont également équipées de systèmes de spin coating de haute précision, complétés par des unités de distribution automatique (dispense units).
Our facility provides seven laminar flow hoods, specifically equipped for various wet chemical processing steps including deposition, development, wet etching, and lift-off. Each hood features integrated U15 filters and an automated laminar flow system to ensure ultra-clean working conditions.
Two of these laminar flow hoods are additionally fitted with high-precision spin coater systems, complete with automated dispense units.
