La ligne de transfert SPECS permet de transporter les échantillons d’un système de dépôt ou d’analyse de surface à un autre sans rupture de vide. Le niveau de vide est maintenu en permanence à une pression de l’ordre de 10⁻⁹ mbar. Il est possible de déposer une couche, puis d’aller dans la chambre d’analyse pour obtenir ses propriétés de surface, et retourner dans une autre chambre de dépôt pour continuer la croissance de la couche.
The SPECS linear transfer line enables the handling of sample between deposition or surface analysis systems without breaking vacuum. It operates at pressures in the 10⁻⁹ mbar range. One can deposit a layer, then move to the analysis chamber to get its surface properties, then go back to another deposition chamber to continue the process of layer growing.
