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Profilomètre – Bruker Dektak XT‑A

Profilometer – Bruker Dektak XT‑A

Le profilomètre Bruker Dektak XT‑A est utilisé pour la mesure précise de l’épaisseur de couches et la vérification de petites structures. Il offre une excellente précision sur une large plage d’épaisseurs et intègre plusieurs fonctionnalités avancées, ce qui en fait un outil polyvalent et fiable pour la caractérisation de surfaces.

Caractéristiques techniques

  • Table motorisée X/Y avec déplacement de 150 × 150 mm et rotation motorisée à 360°
  • Plateau à vide de 150 mm pour substrats rigides ou flexibles
  • Plage de déplacement vertical : 50 µm à 55 mm
  • Mesure de profils de hauteur : jusqu’à 1 mm
  • Répétabilité : 5 Å (0,5 nm)
  • Force du stylet : 0,05 à 15 mg
  • Cartographie 3D

The Bruker Dektak XT‑A profilometer is designed for precise layer thickness measurements and verification of small structures. It offers excellent accuracy over a wide thickness range and integrates multiple advanced features, making it a versatile and reliable tool for surface characterization.

Key Features

  • Motorized X/Y stage with 150 × 150 mm travel and motorized 360° rotation
  • 150 mm vacuum chuck for rigid or flexible substrates
  • Vertical travel range: 50 µm to 55 mm
  • Height profile measurement up to 1 mm
  • Repeatability: 5 Å (0.5 nm)
  • Stylus force: 0.05 to 15 mg
  • 3D mapping capability

En savoir plus sur le Profilomètre

Dans le domaine de l’électronique imprimée et des dépôts en couches minces, la maîtrise de l’épaisseur est la clé de la performance. Chez ELORPrintTec, notre profilomètre à contact est l’instrument de métrologie indispensable pour valider chaque étape de fabrication. Que vous utilisiez le dépôt par Slot-Die, le Spin-coating ou l’impression jet d’encre, le profilomètre permet de transformer une simple observation visuelle en une donnée physique quantifiable et précise.

Une mesure directe et absolue des épaisseurs

Le principe du profilomètre repose sur le balayage d’un stylet de haute précision qui parcourt la surface de l’échantillon. En franchissant une « marche » (la transition entre le substrat et le matériau déposé), le système enregistre le déplacement vertical avec une résolution pouvant descendre sous la barre des 10 nanomètres.

Cette mesure est cruciale pour les dispositifs tels que les OLED ou les cellules photovoltaïques organiques (OPV), où une variation d’épaisseur de seulement quelques nanomètres peut radicalement modifier les propriétés optiques ou l’efficacité de transport de charges.

Analyse de la rugosité et contrôle des procédés

Au-delà de la mesure d’épaisseur, le profilomètre d’ELORPrintTec est un outil puissant pour l’analyse de l’état de surface. Il permet de calculer les paramètres de rugosité (Ra, Rq), essentiels pour garantir l’intégrité des interfaces dans les structures multicouches.

  • Détection de défauts : Identifier les craquelures, les piqûres (pinholes) ou les effets de bord (comme l’effet « anneau de café ») après le séchage des encres.
  • Validation de la gravure : Mesurer avec exactitude la profondeur des motifs créés par notre système de gravure ionique réactive (RIE).
  • Planéité : Vérifier l’uniformité du dépôt sur de grandes surfaces pour assurer la reproductibilité industrielle.

En intégrant la profilométrie dans votre flux de R&D chez ELORPrintTec, vous sécurisez vos protocoles expérimentaux. Cet équipement fournit la preuve métrologique nécessaire à la validation de vos brevets et de vos publications scientifiques.

FAQ

À quoi sert le profilomètre ?

Le Dektak XT-A est un profilomètre à stylet qui mesure physiquement le relief d’une surface. Il est utilisé pour mesurer l’épaisseur d’une couche déposée (en mesurant la « marche ») ou pour analyser la rugosité d’un substrat. Par exemple, il est capable de générer un mapping 3D de la surface d’un échantillon.

Pourquoi l’utiliser en salle blanche ISO 6 ?

Le stylet est si sensible qu’une particule sur le trajet de mesure serait interprétée comme un pic de matière, faussant totalement les statistiques de rugosité ou d’épaisseur.

Quels sont les avantages / limites de cet équipement ?

Avantages : Mesure directe et quantitative, haute répétabilité, accepte des échantillons de grande taille.

Limites : Mesure par contact (risque de rayer les matériaux très tendres comme certains polymères).